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台积电功臣林本坚：我们过去被光刻娇纵惯了
2018年9月8日，林本坚因开拓浸润式微影系统方法，持续扩展纳米级集成电路制造，将摩尔定律延伸多代荣膺2018年未来科学大奖—数学与计算机科学奖。
半导体2018.09.12
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