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AMSL
最新一代EUV设备2025年量产
为了因应制程微缩的市场需求,全球主要生产EUV设备的厂商艾司摩尔(ASML)正积极开发下一代EUV设备,就是High-NA(高数值孔径)EUV 产品,预计几年内就能正式量产。
半导体
2019.07.02
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