首页 > 设备材料 > 设备 > 正文

上海集迦电子科技有限公司向市场发布了最新测温产品：无线测温晶圆传感器（WTS，12吋和8吋）

2024-03-19 14:47:55 来源: 互联网

点击

近日半导体设备传感器供应商上海集迦电子科技有限公司向市场发布了最新测温产品：无线测温晶圆传感器（WTS，12吋和8吋）。

无线测温晶圆传感器（WTS），行业内工程师俗称为on wafer，适用于真空环境、液体环境或者大气环境，是半导体设备制造以及fab厂中有广泛应用的智能量测工具，主要用于Etch、Litho、wet等工艺设备内部温度精度以及均匀性测量。对于半导体设备研发、生产、装机、维护、维修等具有重要意义。无线测温晶圆传感器在12寸的硅片中集成了65个温度传感器、控制电路、无线信号传输模块、数据存储、无线充电模块以及电源。厚度控制在1.2mm以下，可以在半导体设备内部和正常12寸或8吋硅片一样自动传输。用于记录设备内部各个位置的温度，并存储于传感器内部。通过无线通讯方式将数据传输给电脑内专用软件，进行温度数据分析。上海集迦可根据客户要求定制8寸或者12寸产品，测温点位也可以根据客户要求定制。

上海集迦电子科技的无线测温晶圆传感器已经通过了美国和国内主流Etch设备厂商的测试并且已经开始服务于客户现场。客户实际测试数据显示在Etch设备里面的测温精度和均匀性都优于进口产品。并于近期开始给海外客户提供测试。

上海集迦的核心团队有来自于海内外资深传感器研发专家，国内著名高校的高学历人才；运营团队有资深外资公司管理背景的高管人才，也有超过二十年半导体设备和零部件制造经验的业内资深专家等加盟。公司目前已经建成软件、硬件研发实验室以及多条专业温度传感器的组装和测试生产线，拥有高精度温度和多物理量校准能力。核心产品包括：温度传感器（荧光光纤温度传感器，mK级高精度传感器，Inner TC），晶圆温度传感器，无线晶圆多物理量传感器（振动/水平/位置/间隙等），以及高精度数据采集系统等。产品被国内主流集成电路设备和制造企业广泛采用。经用户测定，产品精度和质量已达到或超过国外主流供应商的同类产品，具有世界水平。

更多信息请参考上海集迦电子科技网站： www.gnd-etech.com
电话: 15021606674