500万片！凯世通定义国产低能大束流离子注入机量产新标杆

在半导体制造核心装备领域，离子注入机作为芯片掺杂环节的“精准手术刀”，其技术突破与产业化进程直接关系到全球集成电路产业链的自主可控能力。
 
当前，全球离子注入机市场正经历结构性变革：据国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，2024年全球离子注入设备市场规模达276亿元，到2030年有望攀升至307亿元。其中，国内市场空间约160亿元，国产替代潜力巨大。
 
这一增长背后，既有先进制程对离子注入的更高要求，也源于成熟制程扩产带来的设备替换需求。
 
在此背景下，国产厂商正以“自主创新+生态协同”的双轮驱动模式加速崛起。作为国内离子注入机领域的领军者，凯世通半导体于2025年5月16日在上海浦东新区举行庆典活动，庆祝其自主研发的国产12英寸低能大束流离子注入机累计过货量突破 500 万片，这一里程碑标志着国产设备从“实验室验证”迈向“量产替代”的关键跨越。
 
众所周知，离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机，被业内人士称为“厂长杀手”，其中低能大束流离子注入机的市场规模最大、产业化难度极高，一直以来被国际半导体设备巨头垄断。
 
自凯世通2020年向国内头部12英寸产线交付首台设备，回溯五年攻坚历程，凯世通坚持自主研发、原创设计，以每年突破性进展完成技术跨越，实现关键部件国产化。据了解，该设备不仅实现 28 纳米全工艺覆盖，更在离子源稳定性、束流传输效率等核心指标上对标国际龙头，支撑国内 10 余家主流晶圆厂在先进逻辑、存储、CIS 图像传感器及功率芯片等四大领域的安全量产，为我国芯片制造自主可控奠定坚实基础。
 
从技术攻坚到产业落地，凯世通的发展轨迹折射出国产替代的典型路径：自2020年交付首台设备以来，其以“每月等效2个月”的研发效率持续突破技术壁垒，完成从样机研发到规模量产的五年跨越，攻克大量零部件的国产化适配，并通过全产业链协同，在材料、零部件及工艺验证环节构建自主可控的生态闭环。这种“技术突破+供应链整合”的模式，不仅打破了国际巨头的长期垄断，更推动国产低能大束流离子注入机的市场份额快速提升至量产级水平。
 
活动现场，客户代表向凯世通授予“凯世通速度”书法作品，激励凯世通与客户携手并进，在现有突破基础上，加快达成更大规模的量产，做好新一代产品开发，推出更多引领国产离子注入机发展的新产品。
 
能够看到，这既是对其五年实现技术跨越、刷新安全量产数据的高度肯定，更承载着产业链上下游携手加速国产设备规模化应用的共同期许。凯世通正以现有技术优势为基，加快推进新一代产品研发，致力于在集成电路制造装备的“无人区”探索中持续领跑，为我国半导体产业自主创新注入更强动能。
 

 
先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会表示，在当前国际环境下，过货量突破500万片极具战略价值，体现了凯世通持续服务客户安全量产的能力。500万片的里程碑凝聚了凯世通团队的坚守与拼搏，离不开客户、有关部门、供应商、股东等各方长期的指导与关怀。凯世通将满怀感恩之情，继续秉持“科技报国”初心，紧密围绕客户需求，聚焦“硬卡替”环节，加快离子注入机核心技术攻坚，不断满足国内集成电路客户量产需求。先导科技集团基于全产业链优势，从材料、零部件及维保、量测、终端应用等多维度正在加快赋能凯世通发展，助力凯世通进一步做大做强，服务国内集成电路产业高质量快速发展。
 

 
凯世通总经理陈克禄博士指出，过货量突破500万片大关这一里程碑体现了将“不可能变为可能”的凯世通速度，既是对凯世通自主研发能力和机台产品力的实证，更是公司系统性能力再上新台阶的集中体现。凯世通五年来在技术研发、现场服务、生产能力、供应链体系、质量管控等全方位能力体系建设上取得显著进步。从一年几千片到每月50万片，到如今过货量突破500万片，凯世通以五年攻坚的魄力，让国产离子注入机从图纸走向产线，从“可用”迈向“好用”。
 

 
凯世通副总经理、首席技术官夏世伟表示，离子注入机是大国重器，凯世通团队满怀爱国之志，坚持创新精神、工匠精神，始终以服务客户产线量产为导向，聚焦离子注入机技术研发与产业化，在客户的导航与支持下，实现了国产大束流机台产能持续提升。500万片是凯世通在国内头部12英寸的集成电路逻辑、存储大生产线上实现的真正产品生产，标志着凯世通从研发阶段迈入安全稳定、可靠量产的国产化之路，凯世通团队将继续以全身心的投入，与客户并肩战斗，以核心科技硬实力筑牢中国集成电路产业发展之基。
 
在活动尾声，为纪念这一里程碑，各界伙伴与凯世通团队共同在500万片纪念晶圆上留下了象征合作共赢、产业创新的珍贵手印，共同守护“中国芯”。
 
从“0到1”正向研发突破，再到“1到N”的量产，如今凯世通已成为头部芯片制造产线主力机型的国产化担当。
 
展望未来，随着新兴领域和市场应用对离子注入技术需求的激增，国产厂商将迎来更广阔的市场空间。凯世通等企业正以500万片量产为新起点，加速布局下一代产品研发，致力于尽快实现全系列机型的性能对标与市场覆盖。这一进程不仅关乎单个企业的成长，更将重塑全球半导体设备产业格局，为中国集成电路产业的高质量发展筑牢装备根基。